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锤子
一种半导体加工设备排气处理装置.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/27 9:31:42
- 文件大小：414K
- 下载次数：1
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简介：
本实用新型公开了一种半导体加工设备排气处理装置,属于尾气处理技术领域,解决了现有的半导体加工设备的尾气处理存在处理效果差的问题,其技术要点是：排气管内设置有便于通入氮气的导气管,导气管的外侧连接有加热机构,排气管内还设置有过滤板,过滤板的一侧设置有清扫机构,过滤板的一侧下方设置有收集机构,加热机构便于对通入的氮气进行加热处理,加热后的氮气进入排气管的内部,避免了尾排气体的生成物对尾排管路的堆堵,动力组在排气管内输气的情况下驱使清扫组对过滤板的一侧进行清刮处理,密封组实现了对出料管处的密封,收集组实现了对尾气中杂质的良好收集处理,具有处理效果好的优点。
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