您还有0次抽奖机会
锤子
一种半导体设备传送腔体的过滤装置.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/27 9:32:45
- 文件大小：848K
- 下载次数：1
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
本实用新型公开了一种半导体设备传送腔体的过滤装置,包括密封壳,所述密封壳的前端凹槽内活动安装有密封盖板,此半导体设备传送腔体的过滤装置,区别于现有技术,利用密封件一、密封件二及其密封件三的设置,使得密封壳与密封盖板之间的连接密封性佳,不易产生泄漏的现象,其次,利用便捷式定位机构,能够方便对密封盖板与密封壳之间进行拆装,继而方便对滤网进行拆换或清理,使用较为方便,提高拆装的效率,极大地提高了生产效率,再者,利用活性炭材质的滤网,能够有效防止动力密封出现破损从而导致晶圆片产品被污染的现象产生,使得预抽真空室环境得到提升,大大增加产品的良率。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。