中瑞祥提垃机镀膜机使用步骤

中瑞祥提垃机镀膜机使用步骤 　需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。 　　蒸发镀膜般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜 　　使用步骤 　　电控柜操作 　　1. 开水泵、气源。 　　2. 开总电源。 　　3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再入下步操作。约需5分钟。 　　4. 开机械泵、预抽，开涡轮分子泵电源、并启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 　　5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关预抽，开前泵和真空阀继续抽真空，抽真空到达定程度后才能开右边的真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。 　　操作 　　1. 总电源。 　　2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源