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锤子
Attolight Santis 300 工业晶圆级定量阴极发光CL-SEM检测系统 中文手册
- 类别：仪器样本
- 上传人：北京正通远恒
- 上传时间：2023/6/27 10:39:31
- 文件大小：9203K
- 下载次数：12
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消耗积分 : 免积分
简介：
Säntis 300系统设计用于150、200和300 mm晶圆的全自动缺陷检测。Attolight的定量CL-SEM提供“不折不扣”的大视场快速扫描，同时采集SEM图像、高光谱CL图和光谱。较小直径的晶圆或其他形状的衬底通过手动加载到中间300 mm的夹持器上，随后由系统自动处理。
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