KDK-KDY-1低阻型四探针检测仪方阻仪四探针电阻率检测仪采用GBT 1552-1995

KDK-KDY-1低阻型四探针检测仪方阻仪四探针电阻率检测仪采用GBT 1552-1995 仪器采用GB/T 1552-1995硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法 （2）范围：电阻率10-5～10+3欧姆·厘米，分辨率为10-5欧姆·厘米 方块电阻10-4～10+4欧姆/□，最小分辨率为10-4欧姆/□ （3）可测量材料：半导体材料硅锗棒、块、片、导电薄膜等 可准确测量的半导体尺寸：直径≥20㎜ 可测量的半导体尺寸：直径≥8㎜ （4）测量方式：平面测量。 （5）电压表：双数字电压表，可同时观察电流、电压变化 A.量程0~19.999 mV B.基本误差±(0.004%读数+0.01%满度) C.灵敏度：1uV D输入阻抗﹥1000MΩ E 4 1/2位数字显示，0～19999 （6）恒流源： A.电流输出：直流电流0.003～100 mA连续可调，有交流电源供给 B.量程：10uA，100uA，1 mA，10 mA，100 mA五档 C.恒流源精度：各档均≤±0.05% （7）四探针测试探头 A.探头间距1.59㎜ B.探针机械游率：±0.3% C.探针直径0.8㎜ D.探针