GBT 4937.27-2023半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分：静电放电（ESD）敏感度测试 机器模型（MM）.pdf

1 范围 本文件依据半导体器件对规定的机器模型(MM)静电放电(ESD)所造成损伤或退化的敏感度，建立了半导体器件ESD测试和分级的标准程序。本文件相对于人体模型ESD,用作一种可选的测试方法，目的是提供可靠、可重复的ESD测试结果，以此进行准确分级。 本文件适用于半导体器件，属于破坏性试验。 半导体器件的ESD测试从本文件、人体模型(HBM-见GB/T 4937.26)或GB/T 4937系列中的其他测试方法中选择。MM与HBM测试的结果相似但不完全相同。除另有规定外，HBM测试方法为所选方法。 注1:本文件中的测试方法并不能真正模拟机器或金属工具的放电，因为本文件使用了高寄生电感的测试电路，而真实的机器和金属工具放电上升时间接近100 ps,没有电感效应。 注2:本文件的特定章条是依照GB/T 37977.32—2019的。