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锤子
简介：
电阻率为15 ～ 20 Ω cm n 型单晶硅在氢氟酸- 乙醇溶液中通过光电化学阳极氧化刻蚀后,再经过光氧化处理得到稳定化的多孔硅(porous silicon , PS) . 在PS 结构基础上通过真空蒸镀金属铝(Al) 层形成AlPPSPSiPAl 纵向结构和PS 两端镀铝的Al - PS- Al 横向结构. 利用多孔硅高比表面积对不同浓度尿素进行吸附后,得到AlPPS - ureaPSiPAl or Al - PS - urea - Al 结构. 研究了上述两种结构的电流电压的半对数关系,结果表明lg I ～ V 曲线与被吸附尿素的含量呈递减关系,浸泡PS 的尿素溶液浓度在1μg·ml - 1～ 1 mg·ml - 1范围内呈线性递减关系. 基于这两种结构的多孔硅器件有望实现对尿素的传感.
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