X射线荧光光谱法进展(6)
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- 上传人:一滴甘雨
- 上传时间:2005/8/29 10:23:04
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简介:
X射线荧光光谱法进展(6)
——XRFA技术进展
1.4 微束XRF分析
近年来微束X射线荧光已逐渐成为表面、微区、微试样分析的一种有力工具。为获得高的空间分辨率,途径之一是使用微束斑的X光管加小孔光阑,这是美国Kevex公司生产的Omicro微区XRF分析仪所采用的技术。20世纪八十年代中期的苏联科学家Kumakhov发明的X光透镜,则是利用X光在玻璃导管内壁产生多次全反射而获得高强度的微束X光。与常规XRF不同的是,这种微束技术不是用于分析均匀试样的平均组分,而主要用于非均匀材料如矿物、多相合金、生物试样和微电子元件等的局部分析。
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