产品手册TencorP-17&Tencor P-17 OF 探针式轮廓仪

P-17探针式轮廓仪为生产和研发(R&D)环节提供从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达200毫米，无需拼接。 Tencor P-17是第八代台式探针式轮廓仪，它凝结了逾40年的表面量测经验。该行业领先的系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达200mm，无需拼接。 出色的测量稳定性通过结合UltraLite® 传感器、恒力控制和超平扫描样品台实现。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。Tencor P-17探针式轮廓仪支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。通过图形识别、序列和特征检测实现全自动测量。