产品手册Alpha-Step D-500探针式轮廓仪

  1. 类别:标准
  2. 上传人:KLA
  3. 上传时间:2024/2/21 19:17:10
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简介:

Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪 Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。D-500探针式轮廓仪搭载了140毫米手动载台和具有增强影像控制的高级光学系统。 产品描述 Alpha-Step D-500探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。 轮廓仪探针测量技术的一个优势是它是接触式直接测量,与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这可以对您的工艺进行量化,以确定添加或移除的材料量,以及通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

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