产品手册Filmetrics Profilm3D光学轮廓仪

Filmetrics® Profilm3D®光学轮廓仪 Profilm3D®和 Profilm3D-200 光学轮廓仪经济实惠，是一套非接触式基于白光干涉法的3D表面形貌测量系统。最新一代的白光干涉仪拥有新的成像模式，性能和价值得到了大幅提升。Profilm3D 系列通过简单、灵活的程式设置测量纳米级至毫米级表面，可进行单次扫描或在多个点位自动测量，来支持研发和生产环境。 产品说明 Filmetrics Profilm3D 和 Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉仪能够高分辨率地测量亚纳米级分辨率的表面形貌。这些机台支持垂直扫描和相移干涉测量法。Profilm3D 采用TotalFocus™ 技术，可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。最新一代的 Profilm3D 引入了加强版粗糙度成像技术，可用于测量更粗糙的表面、更高的斜率以及更低的反射率表面。 在 Profilm3D 测量技术中，测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径，能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中，可以进一步增大测量区域。Profilm