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昊量光电推出“PIEZOCONCEPT”公司高精度单轴、双轴、三轴纳米级位移压电位移台、物镜扫描台、快反镜系列产品;该压电平台以压电陶瓷为驱动,采用了柔性铰链连接的方法,具备精确导向性、高稳定性、高抗疲劳性的特点,同时搭配高精度硅基位移传感器、16Bit高分辨率高速控制器,具有高响应速度,亚纳米级的分辨率,超低底噪(10-50pm)和超高线性度(0.02%),广泛应用于高精密位移方向,包括但不局限于半导体领域;该系列产品包括X轴、Z轴单轴位移平台,XY轴双轴、XYZ轴三轴位移平台、FOC系列物镜扫描台,一维、二维快反镜。
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