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锤子
应用说明—ZetaScan800针对显示和太阳能应用的缺陷检测解决方案
- 类别：标准
- 上传人：KLA
- 上传时间：2024/4/22 18:28:33
- 文件大小：804K
- 下载次数：2
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消耗积分 : 免积分
简介：
ZetaScan 800致力于服务显示和太阳能市场。 ZetaScan是采用激光技术的无图案晶圆/面板检测系统，并运用多通道检测技术对缺陷进行检测和分类。 该系统可以灵活地保存原始图像，以便直接使用该设备或离线进行缺陷 review。输出的检测报告包括缺陷分布图、数量直方图、缺陷类型及计数和自动分类的示例。 扫描光束的光学系统结合了小激光光斑（高灵敏度和分辨率）的优势与线扫描光学设备的速度（快速扫描），使 ZetaScan 800 能够在几分钟内实现全晶圆表面扫描，从而生成缺陷分布图和自动缺陷分类。
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