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ZetaScan 800致力于服务显示和太阳能市场。 ZetaScan是采用激光技术的无图案晶圆/面板检测系统,并运用多通道检测技术对缺陷进行检测和分类。 该系统可以灵活地保存原始图像,以便直接使用该设备或离线进行缺陷 review。输出的检测报告包括缺陷分布图、数量直方图、缺陷类型及计数和自动分类的示例。 扫描光束的光学系统结合了小激光光斑(高灵敏度和分辨率)的优势与线扫描光学设备的速度(快速扫描),使 ZetaScan 800 能够在几分钟内实现全晶圆表面扫描,从而生成缺陷分布图和自动缺陷分类。
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