应用说明—金属薄膜方块电阻和厚度测绘 FilmetricsR50 系列

  1. 类别:标准
  2. 上传人:KLA
  3. 上传时间:2024/5/6 18:53:41
  4. 文件大小:1210K
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简介:

大多数在半导体芯片等器件中导电的金属迹线最初是金属薄膜,随后经过图形化和蚀刻,最终在器件元件之间形成导电连接。 The KLA Instrumentsm Filmetrics® 事业部为半导体、PCB、平板显示器、太阳能应用和研发量测提供符合行业标准的薄膜电阻测量系统。我们的客户测量各种金属层,包括导电薄膜、粘附层和其他导电层。这些应用各具挑战,而Filmetrics 开发了相应的软件、硬件和应用方式来提供有效的解决方案。

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