应用说明—太阳能电池量测解决方案KLA Instruments Zetam 光学轮廓仪

太阳能被广泛用于为照明、供暖、泵送、卫星和计算器等小型设备提供电源。太阳能电池大多由单品硅或多品硅制成，是利用光电效应将太阳光直接转化为电能的基本装置。 将品硅锭加工成太阳能电池需要一系列制造工艺，包括晶圆切割、表面制绒、酸洗、扩散、刻蚀、减反膜沉积、激光开槽、接触印刷等。图1为工艺流程中的测量节点，包括金刚石切割线的表面形貌、硅片翘曲/表面粗糙度/边缘倒角、电池片表面金字塔绒面高度和宽度的表征、减反膜厚度和反射率，以及激光开槽、太阳能金属栅线和主栅线的形貌。各项制造工艺中的微小误差都会对电池片的整体能量转换效率造成不利影响，因此对每个工艺环节的质量管控都至关重要。