KLA科磊 InSEM HT原位高温纳米力学测试仪

InSEM® HT 纳米力学测试系统旨在帮助用户实现高温环境 下材料的力学性能表征，其可在真空中对小体量材料进行 准确、高效地研究。InSEM HT 对压头和样品采用独立加热， 能够在高温下测量弹性模量、硬度和接触刚度等，并可观 测实时变形，增进对材料高温性能的理解。 专为高温材料研究而设计 InSEM HT 配备高温测试所需的各类组件和附件，可以准确、 简便地完成测试，实现对材料高温性能的研究。这一设计 极大提升了测试效率，且总体成本极低。 全样品及压头加热 InSEM HT与SEM、聚焦离子束(FIB)或独立真空室等均可兼 容。压头和样品各自独立控温，确保系统热漂移最低。此 外，高精度控温、多方位热电偶反馈和主动制冷为精准的 力学测试提供保障。 移动系统 高精度XYZ移动系统，配有线性光学编码器以实现优于5nm 分辨率的测试点定位。