应用说明—Candela CS20R针对化合物半导体和光电材料的先进检测

Candela® CS20R系统致力于服务光电技术、LED、通信和其他化合 物半导体市场。Candela CS20R使用多通道检测和基于规则分类的 经典Candela技术，可以针对多种材料系统的晶圆上的影响良率的 缺陷进行检测和确认。 标准Candela技术采用专有的OSA（光学表面分析仪）架构，可同 时测量散射强度、形貌变化、表面反射率和相位偏移，以对各种不 同的重要缺陷（DOI）进行全面自动检测和分类。 CS20R光学器件经过优化，可检测包括感光薄膜在内的化合物半导 体材料。该检测方法可以在数分钟内完成全晶圆检测，并生成高分 辨率的图像和自动分类的缺陷晶圆图。缺陷晶圆图采用颜色代码显示晶圆上每个缺陷的位置。 缺陷帕累托图表显示每一种缺陷类型的数量。 缺陷检测摘要（默认视图）显示整片晶圆上的缺陷统计数据。