产品手册—Filmetrics F54-XY系列适用于图案化样品的自动膜厚测量系统

集成式的 F54-XY 系统依托于Filmetrics的膜厚测量专业性而打造，为工业产线用户带来更精确的定位性能。 F54-XY 系列包含 F54-XY-200 和 F54-XYT-300分别支持尺寸为 200mm 和 300mm 的晶圆样品光源的波长范围可配置，以适应不同薄膜厚度的测量需求。利用先进的反射光谱系统和Filmetrics先进的算法，可轻松实现对整片样品的测量。 可自由选择预设的测量阵列，包括极坐标、矩阵、线性，或导入用户自定义的阵列，且无测量点数的限制。桌面式系统即插即用，使用引导式的程式设置，可在几分钟内完成晶圆测量。 优势 同时支持图案化与非图案化样品的测量 波长范围 190-1700nm 最小光斑尺寸 3um 自动对焦 外壳安全互锁 实时视频图像 适配最大尺寸 300mm 的圆形样品 用户可自定采样阵列，如矩形、线形、极坐标和自定义图形 手动或自动寻边对齐 多样化的历史数据保存功能，可用于保存、重现和绘制结果 内置反射率标样 全面的材料库和先进的建模算法 24x5 电话、电子邮件和在线支持