产品手册—Tencor P-170全自动探针式轮廓仪

Tencor P-170系统是一款全自动化探针式轮廓仪，结合了 P-17这一具有行业内先进测量系统的台式探针式轮廓仪和 HRP-260产线自动化的机械手臂。该系统提供可编程扫描平 台，低噪声和在整个垂直范围内的亚埃级电子分辨率，可在 样品表面的任何位置进行高分辨率扫描。 P-170系统程式设置简单快捷，并配备交互式平台控制，双视 图光学系统和高分辨率数码相机。通过自动晶圆传送，结合 图案识别、多点测量、特征检测和特征查找等软件功能，可 实现全自动化测量。P-170轮廓仪可执行自动化数据分析，其 中包括单次扫描中多达30个的台阶高度分析，表面粗糙度分 析，直方图台阶高度分析，CMP分析，以及使用Apex高级数 据分析软件的扩展分析算法套件。先进的几何图形识别算法， 完备的X-Y平移校准和Z方向高度校准,支持程式在不同机台之 间的复制和使用，从而满足7x24小时自动化生产的需求。 P-170探针式轮廓仪是专为自动化生产而设计的多用途设备， 并支持SECS/GEM。其应用包括Si、SiC、GaAs、AlTiC和蓝宝 石等晶圆上的台阶高度，粗糙度和应力测量。P-170可以满足 半导体，功率器件