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锤子
简介：
KLA Instruments™ 推出 Zeta™-20HR 高分辨率光学轮廓仪，专为满足新型太阳能电池的结构表征和下一代生产工艺的量测需求而设计。 Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电池结构的表征能力拓展至 1um 以下。这款新型的 Zeta设备，基于具有 ZDot™ 技术的 Zeta-20 设计，最高可配备 230mm x230mm 尺寸的样品载台，并具备所有标准化且易用的多模测量能力。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺开发和控制的理想量测工具。 横向分辨率相较于 Zeta-20 标准版提升 30% 样品台拓展至 230mmx230mm支持先进的太阳能电池生产工艺 用于下一代太阳能电池生产工艺的结构形貌表征 改进的数据可视化方式 应用 太阳能电池金字塔结构的形貌测量 特征结构的形貌和粗糙度测量 太阳能细栅、主栅测量 品圆翘曲和应力测量 金刚石切割线测量 激光开槽测量 30nm至100um的透明薄膜厚度测量， 并生成厚度分布图 横向尺寸灵敏度>1um的自动化缺陷检测
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