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昊量光电推出全新一代高分辨率紫外波前传感器,探测波段覆盖190-400nm,相位采样分辨率达到512x512nm。 高分辨率紫外波前传感器具有可测试汇聚光斑,高动态范围,大通光面(13.3mm x13.3mm),高分辨率(512x512),消色差,震动不敏感等特点。 SID4-UV-HR紫外波前分析仪可以用于紫外光学元件表征(用于光刻、半导体等领域)和表面检测(透镜和晶圆等)。
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