190-400nm高分辨紫外波前传感器助力半导体行业发展!

  1. 类别:其他资料
  2. 上传人:昊量光电
  3. 上传时间:2024/5/21 11:36:36
  4. 文件大小:540K
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简介:

昊量光电推出全新一代高分辨率紫外波前传感器,探测波段覆盖190-400nm,相位采样分辨率达到512x512nm。 高分辨率紫外波前传感器具有可测试汇聚光斑,高动态范围,大通光面(13.3mm x13.3mm),高分辨率(512x512),消色差,震动不敏感等特点。 SID4-UV-HR紫外波前分析仪可以用于紫外光学元件表征(用于光刻、半导体等领域)和表面检测(透镜和晶圆等)。

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