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锤子
激光指向稳定在光刻系统应用中的关键作用，及其优化方案
- 类别：其他资料
- 上传人：昊量光电
- 上传时间：2024/5/21 11:40:49
- 文件大小：529K
- 下载次数：0
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简介：
在光刻系统中，激光的指向稳定非常重要，会直接影响光刻的图形准确性和一致性。影响光束指向稳定的主要因素有三个，分别是激光器本身的位置偏移，处于不同基座上的激光器和照明系统之间的振动差异性以及传输过程中的光学系统的扰动。这些扰动会对光刻的质量造成严重影响。。本文提及来自TEM的Aligna激光束指向稳定系统，具有高精度和低响应时间等优点，为光刻中照明系统的指向稳定提供解决方案。
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