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锤子
WD4000系列晶圆几何量测系统：全面支持半导体制造工艺量测，保障晶圆制造工艺质量
- 类别：其他资料
- 上传人：中图仪器
- 上传时间：2024/6/3 14:42:41
- 文件大小：348K
- 下载次数：0
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简介：
WD4000晶圆几何量测系统可自动测量Wafer厚度、弯曲度、翘曲度、粗糙度、膜厚 、外延厚度等参数。该系统可用于测量不同大小、不同材料、不同厚度晶圆的几何参数；晶圆材质如碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅、玻璃片等。
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