硅薄膜晶化率的拉曼检测分析
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:必达泰克
- 上传时间:2010/2/1 11:01:01
- 文件大小:1280K
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简介:
利用必达泰克公司的i-Raman激光拉曼光谱仪来检测硅结晶过程中从非定型硅到多晶硅的晶化率,并获得了满意的效果
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