激光干涉仪是如何测量位移的
- 类别:其他资料
- 上传人:昊量光电
- 上传时间:2024/6/12 10:13:26
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简介:
在本文中,我们介绍了目前国际上常用的激光干涉相关技术,详细法布里珀罗谐振腔原理,并以频率扫描干涉法(FSI)为例分析目前发展现状。
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