使用便携式原子力显微镜实现太阳能电池工业的在线粗糙度测量

在薄膜太阳能工业区域粗糙度参数总是需要在控制中，因为它们与电池的电效率紧密相关。在这项工作中，我们在太阳能工业典型的制造车间中测量和评价粗糙度参数。测量使用的是便携式原子力显微镜，这台仪器放置在CNC金刚石切割设备上，设备上有一被切成四块的透明导电氧化物薄膜的初始样品。通过在这个过程中得到的结果与在实验室最佳条件下得到的结果比较，证明了车间在线测量的方法是可行的。区域粗糙度参数和傅里叶光谱分析的数据具有一致性，表明使用这种类型的测量工具进行在线质量控制是可行的。这个实验测量评价过程对样品的TCO是无任何破坏的；这样100%的产品能被测试，因此改进了测量时间和成品率。