X射线荧光光谱法进展（14）

——XRF分析方法进展

2.2 数据处理方法

虽然早在20世纪50～60年代，X射线荧光光谱激发物理过程的理论描述就已提出。而且随着计算机的发展，应用这个复杂的理论公式进行定量分析计算也不算困难。这就是所谓的基本参数法。但对激发源能量分布的描述及已获得的各种基本参数本身的误差，仍制约着这种理论方法应该达到的定量精度。所以至今人们仍不断地努力从各方面改进这一珍贵的方法。有人提出不需要激发X射线束能量分布明确信息的特殊的基本参数法，也有人提出可以克服形状效应的基本参数法。还有人指出要注意多电离现象的重要性，因为由它产生的卫线和附加的吸收端跃变将影响荧光信号，这将构成基本参数法的一个重要误差源。

    计算定量结果的几种常用方法

      基本参数法

      理论α系数法

      经验系数法

      ——经典多元回归及偏最小二乘法

      ——人工神经元网络

    基本参数法是基于描述X射线荧光产生过程的基本物理公式来计算样品中元素的含量的。因而其可靠。早在20世纪70年代，人们已提出基本参数法。毕竟算法比较复杂，受当时的计算工具的限制，只能脱机在大型计算机上进行计算得出结果。在80年代已将该法移植到个人计算机上。时至今日，随着计算机技术的飞速发展，连两磅重的手持式X光谱仪都可以采用此法。但该法必须考虑样品中的所有成分。

    理论α系数法也是在20世纪70年代发展起来的，也是受计算工具的限制，人们总是寻找简单的数学模型，而又依从X荧光的基本理论。这种方法有一个简单的数学模型，但该模型的系数依据与基本参数法同样的原理算出。所以计算系数时复杂，实际分析计算时简单。

    经验系数法完全依靠数学方法基本不考虑其物理意义建立简单的数学模型，因而应用方便。但一般需要的标样较多，且被分析样品必须与已知标样相近。

总之，经过半个世纪的发展，X射线荧光光谱分析技术经历三次发展高潮。第一次是1948年X光谱仪的诞生。第二次是20世纪80年代的计算机化。第三次是最近几年来各种新器件、新技术的产生。使得X射线荧光光谱分析技术已在各种科研和工业领域得到广泛的应用，而且正在向更深的领域发展。在新的世纪里，X射线荧光光谱分析技术必然为经济建设和改善人类生活发挥越来越大的作用。