ICP—OES在测定三氯氢硅中硼磷含量的应用

由于目前国家还没有针对工业三氯氢硅产品中硼、磷等杂质的分析标准．加上磷、硼等元素的离子发射谱线波长较短，分析谱线均在250 nm以下，属于近紫外光区范围，给仪器分析带来一定难度。各生产厂家和使用厂家均使用各自的企业标准，分析方法也不尽相同且较为保密 造成分析数据相差较大，给硼、磷杂质的测定带来随意性和不统一性。经过反复试验，笔者总结出一套三氯氢硅试样氯含氢分析仪实现了氯气纯度及氯含氢的在线分析，要实现全自动取样，取样管路的设计非常关键，设计得好，整套氯含氢分析系统可以稳定可靠运；否则，轻则导致分析数据不准确、分析数据严重处理和测定的方法，供大家探讨。