EDXRF应用报告-硅薄膜
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:兰友科技
- 上传时间:2010/11/3 9:21:41
- 文件大小:1020K
- 下载次数:83
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简介:
简单的2点经验系数方法应用于半导体工业中硅载体上的薄膜镀层中SiO2, AlSi, Ti, TiN, Pt, AlCu和BPSG的质量控制。本应用展示了NEX CG EDXRF分析仪能够在半导体晶体薄膜应用中的卓越性能。
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