X射线荧光光谱法进展（18）

——XRF分析仪器的发展

3.1.2 数据处理系统“智能化”水平有了长足发展

    20世纪九十年代的仪器几乎已无操作按扭，各种参数和条件的选择均通过计算机来完成。窗式软件的使用把仪器的工作状态实时地显示得一清二楚，有X射线管的管压和电流、使用的分光晶体、准直器、探测器以及真空度、冷却水的温度、压力等测量条件参数，这对光谱仪的日常分析管理，故障诊断及维护等都是非常有用的。

    汇编分析程序也趋于智能化。智能软件包能自动汇编分析程序、设置背景、扣除重叠谱线的干扰、选择数学校正模式，并能对完全未知试样依据基本参数法进行半定量分析，在几分钟内很快得到其大致成份，这在科研和生产的过程控制分析中深受人们的喜爱。另外，无标样定量分析软件与各种类型的定量分析软件使XRF分析的样品中元素间基体校正的准确度不断提高，而且对不同类型和不同形状样品的校正也能取得良好的效果，这在XRF分析的进展中是一个突破。