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锤子
基于微电子机械系统微型光谱仪的研究与进展
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：飞凯曼
- 上传时间：2010/11/22 0:14:06
- 文件大小：867K
- 下载次数：123
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简介：
结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,并展望了随着微电子机械系统技术的发展,微型光谱仪的应用前景和发展趋势。
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