声光可调谐滤波器及其在成像光谱仪上的应用

本文介绍了声光可调谐滤波器作为色散元件的原理，并着重对声光可调谐 滤波器在成像光谱仪上的应用进行了描述。 微光学、微电子、微机械的结合产生出一类新的应用范围很广的器件一一微型光机电系统(MOEMS)，它也是机、电、光、磁、化学、传感技术等多种技术的综合。作为MOEMS的一种，微型光谱分析仪具有许多大型光谱仪所不具备的优点，如重量轻、体积小、探测速度快、使用方便、可集成化、可批量制造以及成本低廉等。像普通光谱仪一样，微型光谱仪有着巨大的应用市场，可以应用在实验室化学分析、临床医学检验、工业监测、航空航天遥感等领域，因而引起了人们广泛的兴趣。微型光谱仪的关键技术是分光器件的微型化，而声光可调 谐滤波器作为一种新型的分光器件，可以很好地实现光谱仪的微型化。