基于微机电子系统技术高性能气相色谱柱的制备.caj

摘　要　基于微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术,制作了微型气相色谱柱,并对其性能 进行了研究。与传统色谱柱相比,此微型色谱柱具有体积小,分析速度快等特点,适用于在线检测分析与监 测。本研究利用深刻蚀技术与动态涂覆固定相的方法,设计制作了0. 5, 1. 0及3. 0 m色谱柱,实现了对苯, 甲苯和邻二甲苯的分离。其中, 3. 0m色谱柱对甲苯和邻二甲苯的分离度达14. 3,理论板塔数达6160,分离时 间少于200 s。考察了柱长对色谱柱分离性能的影响。此微型色谱柱可广泛应用于家居安全,瓦斯监测以及 环境检测等领域。