Low frequency acoustic response surface cracks by Atom Force Acoustic Microscopy

中科院上海硅酸盐研究所研制的扫描电声显微镜获得05年国家技术发明二等奖和06年国际工业博览会银奖。已出口到德国、美国等多个国家，并装备国内有关大学和研究机构。 基于多年的技术积累，上海硅酸盐研究所又成功开拓了扫描探针声学显微镜（Scanning Probe Acoustic Microscope，SPAM），并和上海卓伦微纳米设备有限公司合作，应用卓伦先进的SPM通用平台技术，将SPAM成功加载到ZL-SPM系列产品上，完成了SPAM商品化拓展。 SPAM具有独特的成像机理和非破坏性内部成像能力，在光电子材料、半导体材料、薄膜材料、集成电路和生物样品上获得了成功的应用，在国内外重要期刊上发表相关论文40余篇，专著一本，获得国家发明专利二项，并多次在国际会议上作大会特邀报告和邀请报告，扫描探针声成像技术及其应用成果在国际上获得高度评价。 SPAM克服了现有SPM只能获得材料表面结构和性质的不足，实现了材料表面及亚表面结构和物性的原位实时检测，为在纳米尺度上开展材料亚表面结构和性质及其相互关系的研究提供新的技术平台。 SPAM是扫描探针显微镜家族的新成员，具有重要的应用前景。它对于纳米生物学、纳米电子学、纳米化学及纳米加工技术的发展必将起到有力的推动作用。