薄膜厚度的测量

  1. 类别:分析方法/应用文章
  2. 上传人:广州标旗
  3. 上传时间:2011/6/23 15:23:54
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简介:

概要 薄膜测量系统是基于白光干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。白光干涉图样通过数学函数被计算出薄膜厚度。对于单层膜来说,如果已知薄膜介质的n和k值就可以计算出它的物理厚度。附着在基底上的薄膜就如同一个标准具,当观察其表面的反射率时会看到一幅干涉条纹图样。当组合不同折射率的材料时,条纹间隔的正弦曲线分布可以用来计算此薄膜的厚度。薄膜测量广泛应用于半导体晶片生产工业,此时需要监控等离子刻蚀和沉积加工过程。还可以用于其它需要测量在金属和玻璃基底上镀制透明膜层的领域。其他领域中,金属表面的透明涂层和玻璃衬底也需要严格测量

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