X射线荧光光谱法进展（27）

——XRF分析仪器的发展

3.2.11 Si半导体探测器

（1）Si (Li)探测器

    这是最早出现的一种半导体探测器。一般需要液氮制冷(即便不工作也需要)，这就使得其体积较大，且应用不方便。近年出现电制冷的Si （Li）探测器，但仍需制冷到－90℃，且运输时也要维持离子真空泵的工作，仍不太方便。一般能量分辨率可达150eV，可工作的计数率一般为几千cps。

（2）Si PIN探测器

    这就是前面提到的发射到火星上的探测器。主要的优点是电制冷，体积小重量轻。只需冷却至－20℃。分辨率仍较差，一般为250 eV，最新的可到158eV。由于分辨率对轻元素更差，加之Be窗也还不够薄，所以轻元素的探测较差，一般可用在Al及以后的元素的探测。对中等以上的元素，其探测效率和分辨率还是足够的。

（3）SDD探测器

    硅漂移室探测器(Silicon Drift Chamber Detector）是最近几年出现的新型半导体探测器，也是首先为空间科学开发的。其分辨率可与Si (Li)探测器和比，一般优于200eV，最新的可达到127eV。电制冷到－10℃可实现所需的分辨率，也可在常温下工作，但分辨率较差。另一特征是其高计数率，一般可工作在100000～200000cps的计数率下，为缩短测量时间及提高测量精度提供保证。

（4）CCD

    受空间科学、软X射线及X射线偏振的刺激而发展。是与检测软X射线，易于制成多位元阵列。

    CCD的二维检测技术可检测单个X射线光子产生的电荷云的形状，以极佳的分辨率直接定量观测X射线偏振。