专家著述(1999):硅基材料芯片的组合离子束合成及分析
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:上海爱建纳米科技发展有限公司
- 上传时间:2006/2/16 0:00:18
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简介:
【中文摘要】 用组合技术和离子束技术相结合的方法进行了硅基发光材料的研究。用组合离子束技术在硅基材料上制备了64个直径为2mm的单元-材料芯片,并对硅基材料芯片各单元进行了卢瑟辐背散射(RBS)、质子弹性散射(PES)和扫描阴极射线发光(CL)特性分析。组合离子束技术的应用将大大提高材料研究的效率。
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