铝硅烷涂层的湿沉积和等离子体沉积的比较
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:瑞士万通电化学
- 上传时间:2011/11/1 10:39:33
- 文件大小:5611K
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简介:
本次研究的目的是比较通过三种不同方法制备的膜表面和体的特点,以获取BTSE分子式怎样被沉积技术修改的信息。结果表明除了更传统的湿浸涂,膜还可以被真快和大气等离子沉积
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