扫描电镜的电子枪的选择
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:欧波同
- 上传时间:2012/3/7 14:38:37
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简介:
(1)现代SEM要求分辨率为纳米级别,高电流,小探针大小,有效的低电压操作。
(2)这些需求使钨灯丝电子枪SEM无法跻身于高端SEM行列。
(3)因此现在所有高性能SEM,都采用一些更先进的电子发射源形式。
(4)钨灯丝电镜的价格仍然较便宜,并能满足多种应用需求。
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