静态法压力传感器

静态法的压力传感器 静态容量法的吸附量测量精度与压力测量精度直接相关，因此，要采用高精度的压力测量方法。过去使用有毒的汞压力计或油压力计，目前一般使用高精度的电容器型压力传感器。压力计内被Inconel薄膜隔成两个室。这种压力计有绝对压力型和压力差型。 绝对压力型压力计内部室保持在10-7Torr（1Torr=133.322Pa）的真空。薄膜上有块陶瓷片，在陶瓷片上沉积两个同心圆金属电极，由薄膜和两个金属电极构成两个电容器，这两个电容器并联。当薄膜两侧空间产生压力差时，薄膜弯曲，在膜中心和膜边缘的两个电容器的电容量发生变化。于是，桥式电路（电容器是其中的一部分）的阻抗发生变化，它输出的直流信号就反映了压力的变化。对最大测量压力为1Torr（133.322Pa）的传感器，它的测量灵敏度为1×10-6Torr，薄膜最大弯曲为0.3mm。但是，由于温度变化引起材料膨胀或收缩，传感器的几何结构发生改变，所以温度每变化1℃，产生的误差约为最大测量压力的0.004%。 因此，在高精度测量时，压力传感器也要恒温。此外，测量精度还可能随时间变化，最好每年校正一次。有些传感器还耐气体腐蚀，这时必须知道可测量的气体。电容器型压力传感器的预热时间需要1天。半导体应变型传感器的测量精度低很多，但价格便宜，可作为辅助方法使用。