超薄Au镀膜的测量

  1. 类别:分析方法/应用文章
  2. 上传人:昌信科学仪器公司
  3. 上传时间:2012/5/30 0:03:09
  4. 文件大小:315K
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简介:

用SFT系列(微小部分荧光X射线膜厚仪)对0.05μm以下的超薄Au镀层实行测定的时候,受检 测器的分辨率的制约,测定会有些困难。 SEA5100系列采用了高分辨率的半导体检测器,S/N得到大幅改善,能够对几十埃的极薄的Au薄膜进 行测定。

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