BCEIA^99分析技术与仪器评议报告--X射线光电子能谱的最新发展特点

在BCEIA‘99上英国VG公司、美国PHI公司和岛津KRATOS公司分别以图片或样本的方式 展示了他们的最新产品和技术，岛津KRATOS公司举办了“高空间分辨X射线光电子能 谱仪的发展及应用”技术交流。自从商品化X射线光电子能谱仪问世以来经历了二十多 年的发展，目前其发展潮流：（1）低价位的常规分析仪器（2）小面积成像XPS仪器。 常规分析仪器 VG公司 该公司的SIGMAPROBE是最新推出的适用于工业在线分析的小面积XPS仪器。其具有快 速、高灵敏度、操作简单等优点。灵敏度提高7倍以上。分析面积15μm ,靠probe light与微聚焦X光源相吻合来定位。 KRATOS公司 AMICUS是KRATOS公司推出的低价位常规表面分析仪器。该仪器具有高灵敏度与高分辨 率、全自动样品操作、分析大批量样品、小型化设计等特点。其分析器是根据带低通 过滤波器与高通过滤波器‘Dupont’设计的。 小面积成像XPS仪器 PHI公司 该公司生产的Quantum2000 XPS/ESCA扫描X光电子微探针，其主要的技术性能为 0.5~5nm材料表面元素和化学态信息，巧妙地X-ray扫描，≤10μ空间分辨率，低能中 和枪消除分析过程中表面荷电效应。 VG公司 ESCALAB 250 是VG公司继ESCALAB 220 以后推出的小面积成像XPS 仪器，目前国内 已有两台。其具有一磁透镜，可以配置大样品制备室，可以分析8英寸大的样品，空间 分辨率优于3μm 。 KRATOS公司 该公司提出了三种型号的AXIS系列小面积成像XPS仪器。AXIS HIS和165都包括有同轴 磁透镜（专利）、同轴电荷中和器（专利）和同轴静电传输透镜技术，八级偏转系统 得到XPS图象。其优点室高效数据采集，高性能小斑点固定。AXIS Ultra仪器，其能 谱模式：标准输入透镜，电子在标准光电子能谱中使用的内与外半球之间散射，保持 平行成像，快速、实时成像。该仪器可以达到平行成像在几秒钟之内实现，可变的FOV （视野）>2mm-100μm ，以FAT模式工作的球面镜分析器，空间分辨率<3μm 。该仪 器可以实现全扫描、窄扫描、线扫描和元素象多谱图象，重叠大面积XPS图象（几个 cm2）使平行图象成为实际有用的技术。 成像XPS优缺点 优点：可分析半导体和绝缘体 有广泛的元素成像分析能力 可做化学态成像 结果直观，易解释 非破坏性分析方法，可分析有机单层 缺点：空间分辨率低，3-5μm 。 （显微结构评议组） New Advantage of XPS Instrumentation During BCEIA’99 there were three companies showed their new instruments for x-ray photoelectron spectroscopy analysis with catalogues and pictures. The recent development reend were revealed: The routine analysis instrument is designed to analysis small surface features with speed and precision. The high performance instrument of small area XPS and imaging XPS will be showed.