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锤子
超高真空(UHV)脉冲激光沉积(PLD)工作原理示意图
- 类别：课件讲义
- 上传人：台灣鎧柏
- 上传时间：2013/1/7 10:33:07
- 文件大小：72K
- 下载次数：22
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简介：
超高真空(UHV)脉冲激光沉积(PLD)(Pulsed Laser Deposition)镀膜系统工作原理示意图 PLD藉由脉冲激光束聚焦在靶材的表面上。靶材表面吸收大量能量，导致靶材快速蒸发而产生等离子羽状物并达到镀膜效果。 铠柏科技致力于PLD的镀膜技术并且依据客户实验需求开发客制化的超高真空系统，一般工作压力小于10-9Oorr
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