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锤子
1、采用高精度动态恒温控制技术和SMT装配技术,最佳恒温波动度达±0.05℃,专门为半导体扩散炉配套。 2、提供单个源瓶、两个源瓶、和四个源瓶的结构形式,适合不同的应用需求。 3、将源瓶与水介质彻底隔离的铁氟龙隔离套,将任何泄漏事故引起的危险降低到最低程度。 4、采用全封闭磁力泵循环搅拌,温场均匀,绝无泄漏。通过将传感器与循环泵液流的一体化设计,大大提高控温精度和温场均匀性。 5、液槽内胆、瓶源隔离套、电热器和蒸发器等可能与工作介质接触的部件采用不锈钢材料,其中瓶源隔离套内壁经铁氟龙处理,专门解决扩散炉应用问题。
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