适合薄膜沉积的首选真空泵解决方案

  1. 类别:分析方法/应用文章
  2. 上传人:苏州利比特
  3. 上传时间:2013/8/1 16:20:16
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简介:

适合薄膜沉积的首选真空泵解决方案 Turbo-V 3K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以工作在高流速的氩气氛围下和温度极高的环境中。此外,V-3K G 的特点为控制器集成于泵内、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 3K-G 成为镀膜工业的最佳分子泵解决方案。 特点: 市场上仅有的真正“一体化”系统 同类产品中抽速最高 无油、耐用、可靠 MTTF 超过 200000 小时 顶级转子设计显著降低重量和机械应力 拥有专利的转子轴配合技术可大大降低转子拉伸应力

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