Apex微纳米材料力学综合测试系统技术资料

一、仪器基本功能介绍 1．微纳米划痕  载荷范围大，测量范围宽，适合多种薄膜。获得膜层结合力及划痕硬度。  伺服加载力反馈系统，时时进行力值反馈，消除表面的影响；  显微镜系统能够时时动态观察测试全过程；  提供声发射，摩擦力的测试模块，更加准确测定膜破裂的情况；  三维形貌仪能够对划痕进行定量（高度，宽度，体积，粗糙度等）微观分析，有助膜性能评价；  CETR专利技术，微金刚石铲子（Patented micro-blades），能够提供符合ASTM G171-03标准的划痕硬度的测试，更能准确的评价薄膜的性能。 2．微纳米压痕  允许在同一仪器上使用相同或不同的压头，研究比较不同的硬度尺度，并且通过简易快速更换适配器，可以不需要移动样品。  符合ISO14577标准；获得仪器式硬度和杨氏模量。  采用世界领先的积分方法来确定样品的接触零点。 ３．微摩擦磨损  通过独特的闭环的伺服机械系统实现准确动态加载，可以提供恒力加载模式、线性增量加载模式和通过软件实现对样品的任意动态加载模式。  提供原位检测：摩擦力、摩擦系数、负载、涂层深度等等。  提供磨损量的测量。 4．三维形貌仪  压电陶瓷大尺度SPM（scanning probe microscopy）技术，可以对样品进行大范围高精度扫描。  提供两种扫描方式fine mode和coarse mode。