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锤子
激光诱导击穿光谱在材料表面分析领域中的应用进展
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：chemchenxj
- 上传时间：2013/8/30 13:58:13
- 文件大小：1610K
- 下载次数：7
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简介：
激光诱导击穿光谱作为表面分析工具是近十年发展起来的，对表面分析基础理论、仪器装置及其 在材料科学领域中的应用进行详细的综述。重点阐述了激光诱导击穿光谱在国内外冶金、半导体、电子等材 料科学领域中的元素分布分析及镀层分析应用进展，指出激光束单个脉冲能量、环境气体及气压、激光束能 量分布等参数对分辨率的影响，同时指出在兼顾灵敏度的前提下提高分辨率的途径。与传统经典表面分析 工具相比较具有扫描面积大、分析速度快及样品导电与否均可分析等优点，成为传统表面分析工具的有力 补充。
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