在电子工业超纯水系统中的TOC影响
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:上海泉佰
- 上传时间:2013/12/9 10:37:20
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简介:
? 水是人类所使用的最常见的试剂。超纯水是电子工业在晶圆清洁与生产中所使用的耗量最大、效用最强的溶剂。
在过去40年中,电子工业的发展已经推动蚀刻至硅芯片的电路数目指数级的增加。电路数目巨幅增加已使得线路宽度明显减小,从而大幅提升了所用超纯水的精确和连续测量的要求。
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