FEI Quanta 系列 扫描电镜操作手册

List of Figures List of Tables Preface Manual Structure 1-i How to Use this Manual1-ii Chapter 1 Safety and Handling Machine classification 1-1 Safety 1-2 Site Requirements 1-2 Earthquake 1-2 Trained, Authorized Service Personnel 1-2 User Maintenance. 1-3 Possible Menaces .. 1-4 Messages 1-4 Electronics / Voltages 1-5 Electrical procedure 1-5 Safety interlocks 1-5 EMO (EMergency ff) . 1-6 Ground (Earth) . 1-6 Cover / Panels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6 Fuses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6 Radiation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7 X-Ray Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7 Static magnetic field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7 Chemicals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8 Gasses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9 Other gases . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9 Material Safety Data Sheets (MSDS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9 Recycling / Re-use information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12 Miscellaneous Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12 Electric Fans . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12 Mechanical movements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12 Pump Exhaust . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12 Corrosion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12 Environmental Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13 Pump oil refill . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13 Liquid Nitrogen refill (EDAX option) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13 Labels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14 Chapter 2 System Overview How Quanta SEM Works . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1 System Vacuum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2 Image Viewing and Capture . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3 Positioning of the stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3 System Layout of Quanta . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4 Software Interface Elements. . . . . . . Hardware Interface Elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4 Quanta Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6 Chapter 3 System Operation Quanta Vacuum System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2 Vacuum Statuses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3 Pump button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3 Vent button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3 Vacuum Modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4 Environmental Backing Valve (EBV) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4 High Vacuum (HiVac) Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4 LoW Vacuum (