离子溅射镀膜法-原理
- 类别:分析方法/应用文章
- 上传人:海德创业
- 上传时间:2013/12/13 11:05:42
- 文件大小:3068K
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简介:
用带有几百电子伏特以上动能的粒子或粒子束轰击固体表面,使靠近固体表面的原子获得入射粒子所带能量的一部分而脱离固体进入到真空中,这种现象称为溅射。
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